圖7-10（a）為精密機械零件加工廠的一滾動導軌的微調機構，彈簧片3在B端固定[原理見圖7-10（b）]，A端懸臂，其長為L。當A端受力撓度為し時，在C處（Kl處）根據彈性懸臂梁變形公式其撓度為Yc。因為K＜1，如果取K為1/10、則很容易得1/100左右的減縮比。利用彈性變形、無外摩擦力和間隙等因素影響，精密機械零件加工可方便地得到極小微量位移，直到納米級。微調時松開開口螺母7的松緊手柄6，將微動桿與拖板連成一體，便可轉動微分筒5使板簧變形，則拖板按C點撓度量微動。

　　另外，深圳CNC加工廠家指出，柔性鉸鏈機構是一種結構緊湊、體積小、無機械摩擦、無間隙、無需潤滑、運動靈敏度高、具有較高的分辨力的傳動導向機構。近年來，柔性銨鏈逐漸應用在微位移機構中，以柔性鉸鏈為導向機構的超高精度微位移工作臺，廣泛應用于能束加工、超精密加工和檢測、微操作系統等具有納米級定位分辨力的設備中。

　　圖7-10（c）為精密機械零件加工廠的一種柔性鉸鏈機構。該機構通過整體線切割的方法，在一塊彈簧鋼板上切割而成，采用左右對稱式結構，使位移平行性較好。柔性鉸鏈的驅動塊由壓電陶瓷微位移器驅動。合理設置柔性鉸鏈的杠桿比，并結合壓電陶瓷微位移器，也很容易得到納米級的位移。